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微型高低溫真空探針臺高低溫真空探針臺冷熱臺 加裝真空位移拉伸夾具 實現對柔性傳感材料在不同溫度 濕度 氣體濃度 壓力和位移條件下的電學信號測試 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移過程可采集樣品信號 熱臺溫度范圍 高溫60℃低溫-60℃ 機械泵極限真空小于1Pa

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