小型濺射儀是種常見的表面處理設備，其原理是利用高能離子束轟擊固體材料，以改變其表面性質。主要由濺射靶、工作室、真空系統、控制系統等組成。其中關鍵的部分是濺射靶和工作室。濺射靶材料是由所需要改變其表面性質的物質組成，如金屬、陶瓷等。工作室是一個真空環境，用于避免氧氣、水蒸氣等對濺射過程的干擾。
在工作時，首先需要將工作室抽成高真空狀態。通過真空泵抽取工作室內的氣體，減少對離子束的干擾。接下來，將濺射靶放置在工作室內，并將需要處理的物體(如基板)放在靶的正對方向。然后，靶與工作室中的氣體形成離子束和中性粒子束，向基板發射。
離子束通過靶材料的轟擊，使其表面原子或分子從靶材料上解離，形成離子。這些離子沿著濺射的方向飛向基板，與其表面發生碰撞。碰撞后，離子的能量和動量轉移給基板表面的原子或分子，使其進入較高的能級。通過這種能量和動量的轉移，濺射靶材料的物質被轉移到基板表面，形成覆蓋層。
這個過程有一定的選擇性，即只有一部分靶材料的原子或分子能夠從靶材料上解離并達到基板表面。這是因為，只有在靶材料中具有足夠的表面能量的原子或分子才能從表面解離，并且在離子束的轟擊下具有足夠的能量到達基板表面。
通過控制離子束的能量和強度以及濺射時間，可以調節覆蓋層的厚度和成分。此外，也可以通過改變靶材料的種類，實現不同性質的覆蓋層的制備。
小型濺射儀的維護保養方法：
1.定期清洗濺射室內的沉積物和雜質，以保持室內的清潔。
2.定期檢查濺射靶和固定樣品的裝置，確保其正常工作和穩定性。
3.定期檢查和更換濺射材料，以保證濺射質量和效果。
4.定期檢查和維護真空泵和氣體供應系統，確保其正常運行。
5.定期校準和調試濺射儀的工藝參數，以確保其性能穩定。
6.注意避免濺射室與外部環境的下雨和潮濕，以避免影響儀器的正常使用和壽命。
7.對于長時間不使用的濺射儀，應將其放置在干燥通風的環境中，并注意防塵、防潮。
更新時間：2023-10-09
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